一般情況下，快速退火爐都是以碘鎢燈管為其發(fā)熱元件的，升溫速度非常的快，采用的是S型的熱電偶測溫，并且使用領先的模糊PID進行控制，其控溫精度非常的高?？焖偻嘶馉t具有真空裝置，可以在多種氣氛下進行工作，這樣就大大提高了快速退火爐的使用范圍。
對于快速退火爐來說，熱源的選擇是非常重要的，它關系到被處理工件的質(zhì)量問題，那么，快速退火爐熱源有哪些呢？目前，在使用的熱源主要有兩種：一種是燈光加熱，一種是高頻感應加熱。
1、燈光加熱
這樣的加熱方式是由上下兩個專用的燈管組或者是單面燈泡構(gòu)成加熱源，加熱燈形狀以及數(shù)目因廠家和被處理的工件尺寸而定，硅片位于雙面加熱燈中間或者是單面燈的下方進行快速加熱。因為這樣的裝置是線狀或者是點狀光源構(gòu)成的面光源，為了達到均勻的加熱效果，對每個燈管的一致性要求很高。從理論上來說，燈的數(shù)目越多，其傳感器數(shù)目、驅(qū)動電路以及控制系統(tǒng)的規(guī)模也會相應增加，而由此帶來的則是制作成本的增加，但是因為較小的腔體體積，可以達到清潔的氣氛，減少玷污，同時也可以減少熱預算。
2、高頻感應加熱
在石英腔體外纏繞線圈，在石英腔體里面放置平行的石墨加熱板。當向線圈里面通入高頻電壓的時候，在線圈的周邊就會產(chǎn)品高頻的電磁場，而位于高頻交變電磁場里面的石墨板受到感應后發(fā)熱就會成為熱源，由此對腔體里面的硅片進行熱處理退火?？偟膩碚f，這種方式雖然制作以及維護成本比較低，但是因為石墨板在感應時候的熱遲滯性，以及停止加熱時候的熱慣性，會讓溫度控制響應速度變慢，溫度控制精度在技術上面很難得到保證，并且高頻電磁輻射如果控制不當?shù)脑挘瑫苋菀讓χ車沫h(huán)境造成電磁污染。
